【概要】
　　● 半導体試料の基礎物性評価装置です。
　　● 温度依存性の自動測定が可能です。
　　● 試料をセット後は、付属PCからの自動制御にて測定が実行され、
　　　　抵抗率・キャリアータイプ・キャリアー濃度・移動度の演算結果が表示されます。
　　● ばね板プローブにより電気接触を確保する方式ですので、ワイヤホンダは不要です。
　　● 研究内容、ご使用の状況に合わせて、設計製作いたします

【特長】
　　● van der Pauw法による測定
　　● 試料交換が容易
　　● 漏れ磁束の少ない永久磁石ユニットによる磁場印加
　　● パラメーター設定後は端子切替・磁場反転などを含み、全て自動測定
　　　　・ 自動でオーミック特性を確認
　　　　・ 制御プログラムにより測定時定数を自動調整
　　　　・ すべてのデータをテキスト形式で保存
　　● オプションで交流磁場によるAC測定に対応可能

【構成】
　　● 計測機器部
　　● 磁石ユニット
　　● 温度可変試料ステージ
　　● 制御用PC

【仕様】

サンプル
		□10㎜
		対応サイズ変更可能
直流電流源
	最大出力：	±100mA
	最小分解能：	各設定レンジの10-4以下
	最大印加電圧：	100V（ただし標準仕様では±8Vで使用）
	出力ノイズ：	200nAp-p以下
		※2mAレンジ、0.1-10Hz
電圧計
	最大許容入力電圧：	150V
	最小分解能：	1nV
		※10mVレンジ
	入力インピーダンス：	10GΩ
		※10mVレンジ
	表示桁数：	8ケタ
磁場印加機構
	永久磁石ユニット
	発生磁場強度：	5kOe
	磁場均一性：	中心位置φ10（㎜）にて±1%以内
		※モーター駆動により磁場反転
測定環境
	測定温度：	室温・大気中
	※オプションで電磁石に変更可能
温度可変ステージ
	冷凍機＋ヒーターによる温度制御（標準仕様）
	測定温度：	100K-450K
	温度安定性：	±0.1K
	試料周辺環境：	温度可変する場合には真空
		※標準仕様で真空排気ポンプを含む
	※オプションで制御温度範囲の変更可能
	※オプションで雰囲気制御可能
抵抗測定範囲
		10-3Ω~108Ω
測定可能移動度
		10-2~106 ㎠/V/S
制御用PC
	対応OS：	Windows7,XP,Vista
		※PCおよび制御用プログラム含む
大きさ
		H1100㎜×W1750㎜×D800㎜
		※PC設置台含まず
必要電力
		100V/20A×1系統
		200V/50A×1系統
オプション
	・ ロックインアンプと交流磁場によるAC測定
	※AC測定の場合は電磁石使用となります。
	・ 温度制御範囲の変更可能
	※別途使用打ち合わせが必要です。
	・ 磁場印加機構を電磁石に変更可能
	・ 試料周辺の雰囲気ガス制御機構を追加可能
	・ 電流計追加可能（高抵抗試料の測定精度向上）