【概要】 ● 半導体試料の基礎物性評価装置です。 ● 試料をセット後は、付属PCからの自動制御にて測定が実行され、 抵抗率・キャリアータイプ・キャリアー濃度・移動度の演算結果が表示されます。 ● ばね板プローブにより電気接触を確保する方式ですので、ワイヤホンダは不要です。 ● 研究内容、ご使用の状況に合わせて、設計製作いたします
【特長】 ● van der Pauw法による測定 ● 試料交換が容易 ● 漏れ磁束の少ない永久磁石ユニットによる磁場印加 ● パラメーター設定後は端子切替・磁場反転などを含み、全て自動測定 ・ 自動でオーミック特性を確認 ・ 制御プログラムにより測定時定数を自動調整 ・ すべてのデータをテキスト形式で保存
【構成】 ● 計測機器部 ● 磁石ユニット ● 試料ホルダー ● 制御用PC
【仕様】
サンプル | | | □10㎜ | | | 対応サイズ変更可能 | | | | 直流電流源 | | 最大出力: | ±200mA | | 最小分解能: | 100nA | | 最大印加電圧: | 30V(ただし使用可能範囲は±20V) | | 出力ノイズ: | 30nAp-p以下(1kΩ負荷にて) | | | ※3mAレンジ、DC-100Hz低周波ノイズ | | | | 電圧計 | | 最大許容入力電圧: | 1kV | | 最小分解能: | 10nV | | | ※100mVレンジ | | 入力インピーダンス: | 1GΩ | | | ※100mVレンジ | | 表示桁数: | 6ケタ | | | | 磁場印加機構 | | 永久磁石ユニット | | | 発生磁場強度: | 5kOe | | 磁場均一性: | 中心位置φ10(㎜)にて±1%以内 | | | ※モーター駆動により磁場反転 | | | | 測定環境 | | 測定温度: | 室温・大気中 | | | | 抵抗測定範囲 | | | 1Ω~106Ω | | | | 測定可能移動度 | | | 10-1~106 ㎠/V/S | | | | 制御用PC | | 対応OS: | Windows7,XP,Vista | | | ※PCおよび制御用プログラム含む | | | | 大きさ | | | H760㎜×W660㎜×D532㎜ | | | | 必要電力 | | | 100V/20A×1系統 |
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