ナノテクノロジー・インスツルメンツ株式会社
ホール効果測定装置    (標準型)





【概要】
  ● 半導体試料の基礎物性評価装置です。
  ● 試料をセット後は、付属PCからの自動制御にて測定が実行され、
     抵抗率・キャリアータイプ・キャリアー濃度・移動度の演算結果が表示されます。
  ● ばね板プローブにより電気接触を確保する方式ですので、ワイヤホンダは不要です。
  ● 研究内容、ご使用の状況に合わせて、設計製作いたします

【特長】
  ● van der Pauw法による測定
  ● 試料交換が容易
  ● 漏れ磁束の少ない永久磁石ユニットによる磁場印加
  ● パラメーター設定後は端子切替・磁場反転などを含み、全て自動測定
    ・ 自動でオーミック特性を確認
    ・ 制御プログラムにより測定時定数を自動調整
    ・ すべてのデータをテキスト形式で保存

【構成】
  ● 計測機器部
  ● 磁石ユニット
  ● 試料ホルダー
  ● 制御用PC

【仕様】

サンプル

□10㎜
対応サイズ変更可能

直流電流源

最大出力:±200mA
最小分解能:100nA
最大印加電圧:30V(ただし使用可能範囲は±20V)
出力ノイズ:30nAp-p以下(1kΩ負荷にて)
※3mAレンジ、DC-100Hz低周波ノイズ
電圧計
最大許容入力電圧:1kV
最小分解能:10nV
※100mVレンジ
入力インピーダンス:1GΩ
※100mVレンジ
表示桁数:6ケタ
磁場印加機構
  永久磁石ユニット
発生磁場強度:5kOe
磁場均一性:中心位置φ10(㎜)にて±1%以内
※モーター駆動により磁場反転
測定環境
測定温度:室温・大気中
抵抗測定範囲
1Ω~106Ω
測定可能移動度
10-1~106 ㎠/V/S
制御用PC
対応OS:Windows7,XP,Vista
※PCおよび制御用プログラム含む
大きさ
H760㎜×W660㎜×D532㎜
必要電力
100V/20A×1系統




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