薄膜合成技術を基礎とした新物質探索、微細材料加工技術による新製品開発
PLD法による酸化物薄膜・人工格子の形成と物性解析
・走査トンネル顕微鏡・分光法による薄膜成長機構観察・電子物性評価
・薄膜作製装置の設計と改良
・電界放出材料の特性評価
・熱陰極特性評価
・半導体微細加工を用いた新型微細ピッチプローブカードの開発
・紫外線照射による固定表面洗浄機構の研究
・シリコンウェハーへの高アスペクト貫通孔形成
・微細電気配線形成
・電界放出材料の物性研究、およびその応用デバイス開発
・データ解析、数値シュミレーションを行うためのPCプログラム開発
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